マイクロレンズ・微細構造の作成・評価と応用

製法も大きく異なり、測定評価も非常に難しいマイクロレンズ！マイクロレンズ特有の作成方法、特性、評価法、さらには国際標準の開発動向まで総合的に解説する特別セミナー！

共催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：2011年6月3日（金）　　10：30〜17：30

≪講座のポイント≫
本講では、近年活発に製品への応用がすすんでいる、マイクロレンズの作成評価を含めた開発、応用動向を中心に解説する。

　マイクロレンズは、光通信用デバイスを始めとして液晶プロジェクタ用パネル、シャックハルトマンセンサなど多方面での応用が広がっており、活発に研究開発がすすめられている。

　通常のレンズに比べるとサイズが小さいだけでなく、製法も大きく異なり、測定評価も非常に難しい面がある。

　マイクロレンズ特有の作成方法とその特性評価法、さらにはユーザーとサプライヤが共通の理解をすすめるための国際標準の開発動向など、マイクロレンズについて理解を深めていただけるよう総合的に解説する。

　また、最近実用段階に入ったと言える、ウェハレベル実装技術を活用したデバイス作成についても解説する。さらに、最近の研究開発の動向など、今後の進展が期待できる技術にも焦点をあてて整理する。

　マイクロオプティスクス開発に携わる、あるいはマイクロレンズを含むマイクロオプティクスの活用をお考えの方にもご理解いただけるように解説する。

≪プログラム≫
Ⅰ．マイクロレンズ概論
　　　1．マイクロレンズとは
　　　2．マイクロレンズの歴史
　　　3．最近のマイクロレンズ（微細構造）の動向（概論）

Ⅱ．マイクロレンズの作成法
　　　1．機械加工マイクロレンズ
　　　　　・切削加工マイクロレンズ
　　　2．物理化学加工マイクロレンズ
　　　　　a．フォトレジストによるマイクロレンズ作成
　　　　　b．フォトレジスト+エッチングによるマイクロレンズ作成
　　　　　c．イオン交換によるマイクロレンズ作成
　　　　　d．プロトン放射を用いたマイクロレンズ作成
　　　3．高精度化（多機能化）
　　　　　a．グレースケールマスクの応用
　　　4．その他の方法
　　　　　a．2P法を用いたマイクロレンズ作成
　　　　　b．インクジェットを用いたマイクロレンズ作成
　　　　　c．微細構造の作成と光学応用
　　　5．レプリケーション技術
　　　　　a．ガラス材料への形状転写
　　　　　b．プラスチック材料への形状転写
　　　　　c．ナノインプリント技術を用いたマイクロレンズ作成

Ⅲ．ウェハレベルのマイクロレンズ作成
　　　1．マイクロレンズの作成
　　　2．ウェハレベル実装
　　　3．ウェハレベル実装マイクロレンズ＆デバイスの応用

Ⅳ．マイクロレンズ/レンズアレイの測定と評価
　　　1．計測・評価方法概要
　　　2．形状評価（非接触測定）
　　　　　a．光プローブ
　　　　　b．干渉計
　　　　　c．共焦点顕微鏡
　　　3．光学特性評価
　　　　　a．波面収差測定
　　　　　b．焦点距離測定
　　　　　c．偏心測定
　　　　　d．ＭＴＦ測定

Ⅴ．マイクロレンズの製法による光学特性比較
　　　1．波面収差（マレシャル基準、レーリー基準など）を用いた比較
　　　2．ストレール比を用いた比較

Ⅵ．マイクロレンズ/マイクロレンズアレイの応用
　　　1．光通信
　　　2．光集積回路
　　　3．並列画像処理
　　　4．液晶プロジェクタ
　　　5．共焦点顕微鏡
　　　6．CCDオンチップレンズ
　　　7．シャック-ハルトマンセンサ
　　　8．3Dイメージング
　　　9．液晶マイクロレンズの応用
　　　10.超薄型カメラモジュール
　　　11．その他

Ⅶ．マイクロレンズの国際標準開発の動向
　　　・ISO国際標準開発の現状

Ⅷ．最近のマイクロレンズ研究の動向
　　　1．米国
　　　2．ヨーロッパ
　　　3．日本
　　　4．アジア

Ⅸ．まとめ