パワー半導体とは、AC⇒DC(コンバータ)、DC⇒AC(インバータ)、電圧、周波数など電力の変換を行う。 2020年世界の半導体デバイス市場は50兆円。パワー半導体は2兆8千億円程度(p.22,80)。 パワー半導体は単機能半導体(ディスクリート半導体) FET:電界効果トランジスタ。 一般MOSFETはp型シリコンウェーハ上につくるソースとドレインは表面につくり、電流が表面を流れる。パワーMOSFETはn型シリコンウェーハ(FZ結晶)でソースは表面、ドレイン電極はウェーハ裏面にあり、電流はウェーハ内を流れる。 シリコンは真正半導体でキャリアが少なく電気伝導性がない。キャリアとなるシリコン以外…