(English version is here: Reports on the 74th Conference of Japan Society of Coordination Chemistry: Chemical Analysis of Semiconductor Processes - fltech - 富士通研究所の技術ブログ) こんにちは。デバイス&マテリアル研究センターの大津博義です。2024年9月18日から20日まで、岐阜大学および長良川国際会議場で開催された錯体化学会第74回討論会に参加、発表してきました。その中で、化合物半導体プロセスの化学分析に関する成果を発表しましたので…