RAIDを構成するディスク台数のうち1本をパリティデータに用いる事で、耐障害性を持たせたRAID方式。
具体的には、構成HDD数−1本のHDDでRAID 0を構成し、そのRAID 0のHDDのデータのパリティを計算して最後のHDDに格納する。
これによって、構成しているHDDのうち1本が故障などによってアクセスできなくなったとしても、残存している他のメンバーHDDおよびパリティを元に失われた部分のデータを復元できる、というもの。
RAID 0+1よりも使用HDD数あたりのデータ使用効率に優れる。
このパリティのデータを1台のHDDに集中して書き込んでいるのがRAID 3で、すべてのHDDに分散して書き込んでいるのがRAID 5。