走査型プローブ顕微鏡
別名SPM（Scanninng Probe Microscope)。
プローブと呼ばれるごく細い針の先でなぞることで、原子の画像をとらえる顕微鏡。プローブと観察する対象は直接接触することはなく、針と対象の間に発生するトンネル電流や原子間力を測定して観測する。
主な走査型プローブ顕微鏡
- 走査型トンネル顕微鏡（STM)
- 原子間力顕微鏡（AFM)
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