メカトロニクス*1において用いられるセンサ*2の原理,扱う物理量,センサ例を下表に示す。 表 メカトロニクスにおけるセンサ センサの原理 センサが扱う物理量 センサ例 ピエゾ抵抗効果 圧力 半導体ストレインゲージ ゼーベック効果 異種金属の 2 接点間の温度差 熱電対 ホール効果 磁界 半導体磁器センサ コリオリの原理 慣性力 ジャイロスコープ 光起電力効果 光エネルギー フォトダイオード ピエゾ抵抗効果(piezoresistive effect) 半導体や金属に機械的な歪を加えたときにその電気抵抗が変化する効果である。 圧抵抗効果ともいう。 ピエゾ電気効果(または圧電効果)と比較して,圧抵…