フォークシート

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Electronics Pick-up by Akira Fukuda•4年前

コラム「デバイス通信」を更新。「論理回路セルとSRAMセルを縮小するフォークシート構造」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第10回となります。eetimes.itmedia.co.jp ナノシート構造とフォークシート構造で、同じ機能の論理回路セルとSRAMセルの大きさを比較しています。どちらもフォークシート構造が小さくなります。詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。

#半導体製造技術#微細加工#フォークシート#CMOSロジック#SRAM

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Electronics Pick-up by Akira Fukuda•4年前

コラム「デバイス通信」を更新。「フォークシート構造のCMOSロジック製造プロセス」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第9回となります。eetimes.itmedia.co.jp今回はpチャンネルとnチャンネルのトランジスタ対（ペア）を製造する工程（ステップ）を説明しています。トランジスタ構造はかなり複雑で、ステップ数はかなりの量に上ることが伺えます。 imecはナノシート構造のプロセスにちょっとだけ追加して変更したものというニュアンスで説明しておりますが、ナノシート構造のプロセスそのものがかなり複雑です。筆者はフィンFET（FinFET）まではトランジスタの断面図を見…

#半導体製造#微細加工#CMOS#フォークシート#FinFET

Electronics Pick-up by Akira Fukuda•4年前

コラム「デバイス通信」を更新。「フォークシート構造のトランジスタが次世代以降の有力候補である理由」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第8回となります。eetimes.itmedia.co.jp フォークシート構造の続きです。フォークシート構造は、CMOSロジックを構成するpチャンネルとnチャンネルの両トランジスタ（トランジスタ対）の距離（PN）を詰められるのが特長です。5nm以降のCMOSロジック技術ノードでは、PNを短くできることがなぜ重要なのか。これが今回の内容です。詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。

#半導体製造技術#フォークシート#CMOSロジック#微細化

Electronics Pick-up by Akira Fukuda•4年前

コラム「デバイス通信」を更新。「ナノシート構造を超える高い密度を実現するフォークシート構造」

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第7回となります。 eetimes.itmedia.co.jp FinFET（フィンフェット）の次はナノワイヤ構造、あるいはナノシート構造のチャンネルを備えたトランジスタが候補でした。最近ではナノワイヤよりもナノシートが有利だとの意見が主流となっています。さらにimecは、ナノシート構造でも微細化には課題があるとしてフォークシート構造を提案して試作してきました。詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。半導体プロセスの基礎からわかりやすく丁寧に半導体…

#半導体製造技術#微細化#FinFET#ナノシート#フォークシート