長期計画は定常マイクロバンチング加速器を建設し極端紫外線(EUV)光源を作ること Jeff Pao Asia Times September 19, 2023中国は、独自のリソグラフィ施設を作るために新しい極端紫外線(EUV)光源の使用を模索しているが、技術専門家は、このような野心的な目標を達成するには何年もかかるかもしれないと述べている。ここ数日、中国のインターネット上では、清華大学が定常状態マイクロバンチング(SSMB)技術でブレークスルーを果たし、ASMLのEUVリソグラフィの数倍のパワーを持つEUV光源を作ることができるとする記事や動画が流行している。彼らは、「リソグラフィ・キャノン」…