EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第16回となります。eetimes.itmedia.co.jp前回に続いてシーケンシャルCFETの製造プロセスを扱っています。 今回はトップ側の製造プロセスにおける温度条件(最高で550℃が望ましい)がテーマです。トップ側のプロセス温度が高いと、ボトム側のデバイスが劣化してしまう。これを防ぐためにプロセス温度を下げなければならない。 詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。光励起プロセスの基礎―プロセスの低温・無損傷化を実現作者:清, 高橋,好正, …