EETimes Japan様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。新シリーズ「 imecが語る3nm以降のCMOS技術」の第7回となります。 eetimes.itmedia.co.jp FinFET(フィンフェット)の次はナノワイヤ構造、あるいはナノシート構造のチャンネルを備えたトランジスタが候補でした。最近ではナノワイヤよりもナノシートが有利だとの意見が主流となっています。さらにimecは、ナノシート構造でも微細化には課題があるとしてフォークシート構造を提案して試作してきました。詳しくは記事をお読みいただけるとうれしいです。半導体プロセスの基礎からわかりやすく丁寧に 半導体…